เครื่องชุบเฉพาะฝิมล์EMI

อุปกรณ์นั้ใช้ในคอมพิวเตอร์มือถือ เปลือกมือถือ โทรศัพท์ การสื่อสารแบบไร้สาย ภาพและเสียงอิเล็กทรอนิกส์ ริโมทควบคุม(remote control)เครื่องการนำทางและเครื่องมือทางการแพทย์ฯลฯ ระบบอัตโนมัติควบคุม PLC (human-computer interface)

แนะนำพารามิเตอร์ ประยุกติใช้รูปตัวอย่าง

อุปกรณ์เคลือบเฉพาะแมกนีตรอนสปัตเตอริง(EMI) อุปกรณ์นี้ใช้ในคอมพิวเตอร์มือถือ เปลือกมือถือ โทรศัพท์ การสื่อสารแบบไร้สาย ภาพและเสียงอิเล็กทรอนิกส์ ริโมทควบคุม(remote control)เครื่องการนำทางและเครื่องมือทางการแพทย์ฯลฯ ระบบอัตโนมัติควบคุม การควบคุมอัตโนมัติ การติดตั้งแหล่งจ่ายไฟแมกนิตรอนที่พลังงานสูง สองเป้าสลับกันใช้ กระแสคงที่เอาท์พุท ชั้นวางชิ้นงานในการออกแบบที่เหมาะสมที่เป็นเอกลักษณ์ การโคจรตามระบบสุริยะและการหมุนรอบตัวเอง ผลผลิตมีขนาดใหญ่ ผลผลิตสูง การใช้เครื่องวัดความหนาฟิล์มคริสตัลควอตซ์การวัดความหนาของฝิล์ม สามารถได้ความหานฝิล์มที่ถูกต้อง  PLC (human-computer interface) สามารถแก้ไขพารามิเตอร์ของฝิล์มเคลือบ 

ขนาดห้องสูญญากาศ Φ1200×1500mm Φ1400×1950mm Φ1600×1950mm Φ1800×1950mm
ชนิดฟิล์ม EMIหน้าจอฟิล์มป้องกันการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า  ฝิล์มการตกแต่ง
ประเภทเพาเวอร์ แหล่งจ่ายไฟดีซีแมกนีตรอน+เพาเวอร์ไอออนแรงดันสูงโจมตี 
เป้าทรงกระบอก เป้าดีซีแมกนีตรอน(เป้าทองแดงที่ไม่ออกซิเจน+เป้าเหล็กสแตนเลส)
โครงสร้างของห้องสูญญากาศ แนวตั้งประตูคู่ แนวตั้งประตูเดียว
ระบบสูญญากาศ ปั้มเครืองจักร+เครื่องสูบน้ำราก+ปั๊มกระจาย+ปั้มการรักษา(หรือเลือกตั้ง ปั๊มโมเลกุล ระบบระบบที่อุณหภูมิต่ำ)
ระบบพองลม เครื่องควบคุมอัตราการไหลเชิงมวล(1-3สาย)
สูญญากาศสูงสุด 6×10-4 pa(โหลดเปล่า ห้องเปล่า)
เวลาการสูบ การโหลดอากาศ5×10-3 paน้อยกว่า6นาที
วิธีหมุนของชิ้นงาน 6แกน/8แกน/9แกนการโคจรตามระบบสุริยะและการหมุนด้วยตนเอง/อินเวอร์เตอร์ปรับความเร็ว
วิธีการควบคุม ปรับด้วยมือ+กึ่งอัตโนมัติ+อัตโนมัติบูรณาการ/หน้าจอสัมผัส+PLC
หมายเหตุ ขนาดห้องสูญญากาศสามารถทำตามผลิตภัณฑ์และเทคโนโลยีพิเศษของลูกค้า
อุปกรณ์นั้ใช้ในคอมพิวเตอร์มือถือ เปลือกมือถือ โทรศัพท์ การสื่อสารแบบไร้สาย ภาพและเสียงอิเล็กทรอนิกส์ ริโมทควบคุม(remote control)เครื่องการนำทางและเครื่องมือทางการแพทย์ฯลฯ