เป็นวิธีประเภทหนึ่งของตะกอนไอทางกายภาพ

สปัตเตอริงเทคโนโลยีคืออะไร

     สปัตเตอริงเป็นวิธีประเภทหนึ่งของตะกอนไอทางกายภาพ กระบวนการทำงานของสปัตเตอริงคือ ไอออนโจมตีพื้นผิวเป้าหมาย ทำให้วัสดุเป้าหมายถูกโจมตีออกมา

     ก๊าซเฉื่อย เช่นก๊าซอาร์กอน นำมาบรรจุที่โพรงสูญญากาศ ประยุกต์ใช้แรงดันสูงเกิดเรืองแสงปล่อยไฟฟ้า ช่วยทำให้ไอออนไปถึงพื้นผิวเป้าหมายเร็วขึ้น แล้วถูกโจมตีออกมาตะกอนอยู่ที่ชิ้นงานนั้น ปฏิกิริยากับไนโตรเจนและอะเซทิลีน กลายเป็นสารประกอบฝิล์มบาง

    สปัตเตอริงเทคโนโลยีสามารถทำชั้นเคลือบได้หลายประเภท มีข้อดีเยอะแยะในด้านชั้นเคลือบการตกแต่ง (เเช่นTi Cr Zr และสารประกอบคาร์บอนและไนโตรเจน)ชั้นเคลือบที่ทำมาจากสปัตเตอริงเทคโนโลยี ทั้งสวยทั้งเรียบเนียม จึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านเสียดสีของตลาดรถยนต์ (เอย่างเช่น CrN Cr2N และชั้นเคลือบเพชร(DLC)ที่หลากหลาย)พลังงานไอออนที่สูงโจมตีเป้าหมาย สารสกัดอะตอมทำเป็นก๊าซแล้วใช้แมกนีตรอนสปัตเตอริงเทคโนโลยี สามารถสปัตเตอริงวัสดุจำนวนมาก

溅射工艺示意图
                              แผนผังกระบวนการสปัตเตอริง

ข้อดีของสปัตเตอริงเทคโนโลยี

+เป้าหมายใช้น้ำเย็น สามารถลดความร้อนรังสี

+ในสถานการณ์ที่ไม่ต้องการย่อย วัสดุโลหะใดเกือบสามารถเป็นเป้าหมายได้

+วัสดุฉนวนสามารถสปัเตอริงได้ในการใช้เพาเวอร์อุปทานความถี่วิทยุ ( RF )หนหรือความถี่กลาง(MF)

+การทำของออกไซด์เป็นไปได้( ปฏิกิริยาสปัตเตอริง)

+ชั้นเคลือบสม่ำเสมอ

+ชั้นเคลือบเรียบเนียน (ไม่มีน่ำหยด)

+ขั้วนิเสธสามารถวางที่ใด(ยาวสุดคือ2เมตร)การออกแบบยืดหยุ่น

ข้อเสียของสปัตเตอริงเทคโนโลยี

-ในการเปรียบเทียบกับอาร์คไฟฟ้าเทคโนโลยี อัตราความเร็วตะกอนค่อนข้างต่ำ

-ในการเปรียบเทียบกับอาร์คไฟฟ้า ความแน่นของพลาสม่าต่ำ (~5%) รวมแรงชั้นเคลือบและความหนาแน่นต่ำ

รูปแบบของสปัตเตอริงเทคโนโลยีมีหลากหลาย ที่นี่เราก็แค่อธิบายบางชนิด สปัตเตอริงเทคโนโลยีเหล่านี้จะทำได้ที่เครืองชุบเคลือบสูญญากาศ

+แมกนีตรอนสปัตเตอริง การใช้ขั้วแมกเหล็กรักษาพลาสม่า เสริมความโจมตีของไอออน เพิ่มความแน่นของพลาสม่า

+UBM สปัตเตอริง เป็นคำย่อของสปัตเตอริงที่ไม่สมดุล การใช้ขั้วแม่เหล็กขดลวดที่เสริมมาเพิ่มความแน่นของพลาสม่าที่ใกล้เคียงชิ้นงาน จึงได้ชั้นเคลือบที่แน่น เวลาที่กระบวนการทำงานนั้น ใช้พลังงานที่สูง ดังนั้นอุณหภูมิจะสูงขึ้นไปด้วย

+การปิดขั้วแม่เหล็กสปัตเตอริง ประยุกต์ใช้ขั้วแม่เหล็กกระจายจำกัดพลาสม่าอยู่ที่ปิดขั้วแม่เหล็กลดความเสียหายของวัสดุเป้าหมายทำกับห้องโพรงสูญญากาศ และทำให้พลาสม่าใกล้ชิ้นงานมากขึ้น สามารถได้รับชั้นเคลือบที่แน่น ยังรักษาความสะอาดของห้องโพรงสูญญากาศด้วย

+เป้าฝาแฝดสปัตเตอริง (DMS)ทำเพื่อเทคโนโลยีตะกอนฉนวนชั้นเคลือบ ไฟฟ้ากระแสสลับ(AC)มีบทบาทในขั้วนิเสธคู่นี้ ไม่ใช่ใช้ไฟฟ้ากระแสตรง(DC)อยู่ที่ขั้วนิเสธกับห้องโพรงสูญญากาศ ทำอย่างนี้ ทำให้เป้าหมายสามารถทำความสะอาดตัวเองในการทำงาน

+HIPIMS เพาเวอร์สูงชีพจรแมกนีตรอนสปัตเตอริง การใช้เพาเวอร์สูงชีพจรมาเพิ่มอัตราไอออนของวัสดุสปัตเตอริง ชั้นเคลือบที่ทำมาจาก HIPIMSข้อดีรวมเทคโนโลยีอาร์คไฟฟ้าและเทคโนโลยีสปัตเตอริง HIPIMSทำเป็นชั้นเคลือบที่แน่น มีแรงรวมที่ดี ชั้นเคลือบเรียบเนียนและไม่มีบกพร่อง เป็นระดับอะตอม

เทคโนโลย