อาร์คไฟฟ้าการระเหยเป็นวิธีหนึ่งของตะกอนไอทางกายภาพ

อาร์คไฟฟ้าการระเหยคืออะไร

     อาร์คไฟฟ้าการระเหยเป็นวิธีหนึ่งของตะกอนไอทางกายภาพ อาร์คไฟฟ้าเทคโนโลยีเป็นต้นเหตุที่เริ่มต้นของ PVD ที่ประยุกต์ใช้ในการชั้นเคลือบแข็ง เชื่อมไฟฟ้าเป็นต้นกำเนิดของเทคโนโลยีอาร์คไฟฟ้า

     ของแข็งโลหะ(วัสดุเป้าหมาย)ที่ถูกระเหยวางอยู่ที่ห้องโพรงสูญญากาศ เวลาหลังจากที่เกิดเรืองแสงปลอยไฟฟ้าแล้ว ดำเนินงานที่พื้นผิววัสดุเป้าหมาย วัสดุเป้าหมายระเหยภายในขอบเขตที่ขนาดประมาณหลายไมครอน

     การเคลื่อนไหวของอาร์คไฟฟ้าจะควบคุมจากขั้วแม่เหล็ก ไอออนโลหะที่ออกจากการระเหยจะกลายเป็นพลาสม่าแล้วตกตะกอนอยู่ที่พื้ผิวชิ้นงาน ชิ้นงานเหล่านี้หมุนเคลื่อนไหวที่ภายในโพรงสูญญากาศ ชั้นเคลือบที่ทำมาจากอาร์คไฟฟ้าปกติจะใช้เป็นชั้นเคลือบพื้นผิวของเครื่องมือและเครื่องอาหลั่ย อย่างเช่น TiN,AlTin, AlCrN,TiCN,CrCN และ CrN

电弧工艺示意图
                    แผนผังอาร์ไฟฟ้างานฝีมือ  

 ข้อดีของอาร์คไฟฟ้าเทคโนโลยีมีต่อไปนี้

+ อัตราความเร็วตะกอนสูง (~1-3μm / h )

+ อัตราไอออนไนเซชันสูง รูปแบบรวมแรงดี ชั้นเคลือบแน่น

+ วัสดุเย็นลง ชิ้นงานชั้นเคลือบได้รับร้อนค่อนข้างน้อย สามารถตะกอนได้ตามที่อุณหภูมิต่ำเกิน100℃

+ สามารถระเหยโลหะที่ประกอบด้วยหลายส่วนประกอบ ส่วนวัสดุเป้าหมายของแข็งที่เหลือก็ไม่เปลี่ยนแปลง

+ ขั้วนิเสธสามารถวางที่ใด(ระดับ แนวตั้ง ข้างบนและข้างล่าง) การออกแบบยืดหยุ่น

ข้อเสียหลักของอาร์คไฟฟ้าเทคโนโลยีมีต่อไปนี้

-วัสดุเป้าหมายได้รับกำหนด

-ใช้แต่โลหะ(ไม่ได้ประกอบด้วยออกไซด์)ทำให้อุณหภูมิการระเหยต่ำลงไม่ได้

-ความแน่นของกระแสไฟฟ้าสูงเกินไป วัสดุเป้าหมายบางอย่างที่เป็นของเหลวเล็กจะถูกสาดออกมา

เทคโนโลย