เครื่องโค้ทติ้งแบบแมกนีตรอนสปัตเตอริง

เครื่องโค้ทติ้งแบบแมกนีตรอนสปัตเตอริงเทคโนโลยีค่อยๆกลายเป็นหลักของสปัตเตอริงเคลือบ มันดีกว่า DC แมกนีตรอนสปัตเตอริง 

แนะนำพารามิเตอร์ ประยุกติใช้รูปตัวอย่าง

เครื่องโค้ทติ้งแบบแมกนีตรอนสปัตเตอริงเทคโนโลยีค่อยๆกลายเป็นหลักของสปัตเตอริงเคลือบ มันมีลัษณะดีกว่าDCแมกนีตรอนสปัตเตอริง คือเอาชนะปรากฏการณ์ขั้วบวกหาย ลดหรือกำจัดเป้าแสงอาร์คปล่อยไฟฟ้าที่ผิดปกติ ดังนั้น เพิ่มเสถียรภาพเทคโนโลยีของกระบวนการสปัตเตอริง เวลานั้น เพิ่มความเร็วตกตะกอนของฟิล์มขนาดกลางหลายเท่า การวิจัยและพัฒนาใหม่เป้าระนาบ เป้าทรงกระบอก เป้าฝาแฝด การทำโครงสร้างและเค้าโครงสำหรับเป้าความถี่สปัตเตอริงที่เป็นรูปแบบหลายอย่าง อุปกรณ์ประเภทนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในเคสนาฬิกา สายนาฬิกา โมบายเปลือกหอย อุปกรณ์กอล์ฟ ฮาร์ดแวร์ ชุดอาหาร เป็นต้น แล้วชุบชั้นการตกแต่งหลากหลาย เช่น TiN TiC TICN TiAIN  CrN 

ขนาดห้องสูญญากาศ Ф800×H900mm Ф1100×H1200mm Ф1350×H1250mm Ф1600×H1250mm Ф1900×H1250mm
ชนิดฟิล์ม ฝิล์มโลหะที่มีฟังก์ชันหลากหลาย ฟิล์มผสม ฝิล์มที่โปร่งใสและกระแสไฟฟ้า ฝิล์มเพิ่มสะท้อน ฝิล์มแม่เหล็กไฟฟ้าป้องกัน ฝิล์มตกแต่ง เป็นต้น
ประเภทเพาเวอร์ DCเพาเวอร์ เพาเวอร์ความถี่แมกนีตรอน เพาเวอร์ไอออนแรงดันสูงโจมตี 
ประเภทเป้า เป้าDCแมกนีตรอน เป้าความถี่ฝาแฝด เป้าระนาบ เป้าทรงกระบอก
โครงสร้างของห้องสูญญากาศ การเปิดประตูคู่แบบแนวตั้ง การเปิดประตูเดียวแบบแนวตั้ง
ระบบสูญญากาศ ปั้มเครืองจักร+เครื่องสูบน้ำราก+ปั๊มกระจาย+ปั้มการรักษา(หรือเลิอกตั้ง ปั๊มโมเลกุล ระบบลึกเย็น )
ระบบพองลม เครื่องควบคุมอัตราการไหลเชิงมวล(สาย1-4)
สูญญากาศสูงสุด 6×10-4pa(โหลดเปล่า、ห้องเปล่า)
เวลาการสูบ การโหลดอากาศ5×10-3pa น้อยกว่า13นาที
วิธีหมุนของชิ้นงาน 6แกน/8แกน/9แกนการโคจรตามระบบสุริยะและการหมุนด้วยตนเอง/อินเวอร์เตอร์ปรับความเร็ว
วิธีการควบคุม ปรับด้วยมือ+กึ่งอัตโนมัติ+อัตโนมัติบูรณาการ/หน้าจอสัมผัส+PLC
หมายเหตุ ขนาดห้องสูญญากาศสามารถทำตามผลิตภัณฑ์และเทคโนโลยีพิเศษของลูกค้า
อุปกรณ์ประเภทนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในเคสนาฬิกา สายนาฬิกา โมบายเปลือกหอย อุปกรณ์กอล์ฟ ฮาร์ดแวร์ ชุดอาหาร เป็นต้น แล้วชุบชั้นการตกแต่งหลากหลาย เช่น TiN TiC TICN TiAIN CrN