คำอธิบายทางเทคโนโลยี

     ฮุ่ยเฉิงสูญญกาศเป็นผู้เชี่ยวชาญในด้านการวิจัยเทคนิค PVD (ตกตะกอนไอทางกายภาพ)เทคนิคCVD (ตกตะกอนไอทางเคมี) และเทคนิคPACVD (พลาสม่าที่ช่วยเหลือตะกอนไอทางเคมี) เราจะอธิบายเทคโนโลยีเหล่วนี้ให้เข้าใจดังต่อไปนี้

เทคนิค PVD

เทคนิคCVD

อาร์คการระเหย

เทคนิคสปัตเตอริง (ประกอบด้วยแมกนีตรอนสปัตเตอริง UBMสปัตเตอริง ปิดสนามสปัตเตอริงและHIPIMS+)

เทคนิคPACVD

เทคโนโลยีชั้นเคลือบคล้ายเพชร (DLC)

พลาสม่าผสมไนโตรเจนรวมกับ PVD

เทคโนโลยีหลายชนิดประยุกต์ใช้ที่เครืองเีดียว

     อุปกรณ์ฝิล์มเคลือบสูญญากาศที่เราผลิตนั้น สามารถเอาเทคโนโลยีหลายชนิดรามกันใช้ในเครืองเีดียว อย่างนี้จะสามารถประยุกต์ใช้เทคโนโลยีหลากหลายที่ต่างกันมาทำฝิล์มเคลือบที่มีรูปแบบหลากหลายได้สะดวกมากขึ้น อย่างเช่น

1.การใช้เทคโนโลยีอาร์คตกตะกอนชั้นด้านล่างของโลหะช่วยเพิ่มแรงรวมของชั้นเคลิอบ

2.แล้วใช้เทคโนโลยีแมกนีตรอนสปัตเตอริงตกตะกอนชั้นกลางของทังสเตนคาร์ไบด์ เพิ่มความแข็งชั้นเคลือบและลดลุงสัมประสิทธิ์แรงเสียดทาน

3.ใช้เทคนิคPACVDตกตะกอนชั้นบนสุดของ DLCที่แข็งมาก เนื่องจากใช้ไล่ระดับสีเพิ่มค่าความแข็ง ชั้นเคลือบจึงไม่หลุดไปได้ง่าย เนื่องจากอุปกรณ์การออกแบบที่มีความยืดหยุ่น ทำให้การอัพเกรดอุปกรณ์ของฮุ่ยเฉิงที่มีอยู่ปัจจุบันนี้เป็นไปได้