สายการผลิต PECVD แมกนีตรอนสปัตเตอริงชุบเคลือบ

สายการผลิต PECVD แมกนีตรอนสปัตเตอริงชุบเคลือบ

ใช้เทคโนโลยี PECVD มีลักษณะที่เป็นความเร็วการตะกอนรวดเร็ว คุณภาพของฝิล์มดี สามารถชุบอ๊อกไซด์ฝิล์มบาง ไนไตรด์ฝิล์มบาง อ๊อกไซด์ไนไตรด์ฝิล์มบาง อสัณฐานซิลิโคนฝิล์มบางและซิลิโคนคาร์ไบด์ฝิล์มบาง ที่ระนาบขนาดใหญ่

>> คลิกรายละเอียด